MEMS（微机电系统）器件是利用微纳加工技术在半导体基板上制造的微型机械和电子元件，具有体积小、功耗低、集成度高等特点，广泛应用于消费电子、汽车工业、医疗健康、航空航天等领域，以下从不同应用领域出发,系统介绍常见的MEMS器件类型及其功能特...